试验室集中供气系统的特点
1、特点:试验室要求使用载气流量恒定、气体纯度高,为试验室选用的分析设备提供量值和压力稳定的气体。
2、经济性:建一个集中的气瓶间可以节省有限的试验室空间,更换气瓶时不需要切断气体,保证气体的连续供应。使用者只需管理较少的气瓶,支付较少的气瓶租金,因为使用同一气体的所有使用点来自于同一个气源。此种供应方式终会减少运输费用,减少退还给气体公司的空瓶中的余气量,以及良好的气瓶管理。特种气体使用安全首先,应对特气的危害性进行分析,通过本质安全设计,消除安全隐患。
3、使用率:集中管道供应系统可以将气体出口放置在使用点处,这样的话可以更合理的设计工作场所。
4、安全性:保证其储存和使用的安全性。保障分析测试人员在实验中免受有毒有害气体的侵害。
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电子特气管道系统氦检漏方法
特气系统气体管道氦检漏的顺序宜采用内向检漏法、阀座检漏法、外向检漏法。
1、内向检漏法(喷氦法)采用管道内部抽真空,外部喷氦气的方法检漏,测试管路系统的泄漏率。
2、阀座检漏法采用阀门上游充氦气,下游抽真空的方法检漏,测试管路系统的泄漏率。
3、外向检漏法(吸枪法)应采用管路内部充氦气或氦氮混合气,外部应采用吸枪检查漏点的方法检漏,测试管路系统的泄漏率。
特种气体钢瓶在运输和储存的注意事项
由于特种气体产品的潜在危险性,如氧气遇油脂着火,气瓶倒下使阀门拆断引起飞瓶,惰性气体引起窒息等等。所以在气体使用、搬运及储存中应注意的一些安全事项。
气体钢瓶在运输和装卸过程中应轻装轻卸,严禁抛、滑、滚及剧烈碰撞。
使用气体前应按要求将合格的减压阀连接到气瓶上,并清洁连接软管。不同气体的气瓶使用时不要使用同一个减压阀。
不应在封闭空间内用惰性气体(如氮气、二氧化碳等)进行实验分析、烧焊、低温冷藏、吹除等等。
烧焊时,应对气体及电气采取适当的保护措施。不要使用损坏的设备,如软管、电缆及焊枪等。
特种气体气瓶存放区应比较干燥,并有良好通风,严禁明火和其它热源,严禁曝晒可燃气瓶或氧气瓶附近严禁吸烟,气瓶不应接触到火花、火焰、热气及电路。
在储存、运输及使用杜瓦罐时不能使其卧倒,应永远使杜瓦罐保持直立状态。
高纯气体的输送管路系统
随着微电子工业的发展,超大规模集成电路制造的硅片尺寸越做越大,要求半导体制造工艺中的气体品质相应越来越高,对气体中杂质和露1点要求极为严格,需要达到ppb、ppt级,尘埃粒径求控制小于0.1~0.05m的微粒,因此对高纯气体的输送管路系统提出了非常高的要求 。特气系统知识分享:标准气体所谓标准气体就是用来校正测量仪器、评价测定方法、给出未知样品气标准值的气体。
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